ЦКПО «НАНОФОТОНИКА И ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА»

Центр коллективного пользования оборудованием «Нанофотоника и дифракционная оптика» создан на базе ЦКП «Микроэлектроники и дифракционной оптики» (организованного приказом № 12-ЦПТ от 8 апреля 2003 года) для совместного использования уникального технологического и измерительного оборудования, имеющегося в структурных подразделениях ИСОИ РАН и СГАУ.

Основные области исследований

 

Фотонные кристаллы
Надмолекулярные структуры

 

 


Оборудование для формирования топологии микро- и наноструктур

Растровый электронный микроскоп «Supra 25» с нанолитографической приставкой «XENOS» Станция лазерной записи «CLWS-200S» 3-мерная система наноструктурирования «3D2S»
Растровый электронный микроскоп «Supra 25» с нанолитографической приставкой «XENOS» Станция лазерной записи «CLWS-200S» 3-мерная система наноструктурирования «3D2S»

Диагностика микро- и наноструктур

Электронная и зондовая диагностика микро- и наноструктур для сопровождения современных технологий получения элементов и устройств с заданными физическими и физико–химическим параметрами и характеристиками.

Автоматизированная система интерферометрии «NEWVIEW 5000» Комплекс «Nanopics» сочетает в себе возможности поверхностного профилометра с возможностями атомно-силового микроскопа Сканирующий зондовый микроскоп «Solver PRO»
Автоматизированная система интерферометрии «NEWVIEW 5000» Комплекс «Nanopics» сочетает в себе возможности поверхностного профилометра с возможностями атомно-силового микроскопа Сканирующий зондовый микроскоп «Solver PRO»